如果还不能满足要求，可在罗茨泵上方再串联油扩散泵，极限真空度可达00001Pa，但其价格较高，建议选用罗茨旋片真空机组，目前国内做的最小的罗茨旋片机组为ZJ15罗茨真空泵15Ls＋“2X－4”旋片式真空泵。总之，往复式真空泵具有抽气速度快抽真空范围广结构简单耐用性好和价格相对较低等优点，是一种常用的机械真空泵如国...