升秒极限真空单级为65*10^2帕，双级为1*10^3帕罗茨泵。罗茨真空泵的故障及排除方法1故障现象泵的抽气量不够产生原因1真空泵的转速不够2密封不严，在进气管路的连。升秒1升=103米3极限真空单级为65*102帕，双级为1*103。随着抽气的进行，气体负荷减小，罗茨泵逐步加速至额定转速打印运用了这...