(真空泵冷却系统)

1、真空泵的主要作用是将容器内的气体抽出，从而产生低于大气压的真空环境这种真空环境可以用于各种实验生产和制造过程中，例如半导体制造真空冷却真空干燥真空蒸馏真空包装等真空泵在半导体制造中起着至关重要的作用。

2、需要真空泵在运行的过程中，会有一部分能量以热能的形式散发，但是它必须通过一些介质散发出去，散热的过程就被称为冷却的过程，真空泵需要冷却来散发热量当然，如果产生的热量不能及时散发的话，就会影响泵零部件的性能。

3、有罗茨真空泵的旋转方向，机封冷却水进口在机封腔体的下方，出水口在上部，从泵的进水段到泵的出水段，气体流动方向自上而下是垂直的，从而使液体或固体粒子夹带在入口流中向下流动，所以是有方向的。

4、防止排气温度过高，冷却润滑油在高温状态下时间长了会使油的使用寿命降低，温度过高还会使机头各部件使用寿命降低，有了冷却装置还可以降低气体中的水分。

5、板式换热器的主要作用是通过冷却水冷却工作液，使工作液温度保持在合理的范围之内设备组成液环真空泵压缩机闭路循环系统主要部件包括 液环真空泵压缩机 气液分离器 换热器 共用底盘 内部管线。

6、真空泵降温一般用循环水冷却效果要好，降温速度快真空泵里边需要水一般是用纯净水，这样就会用到沸克板式冷却器，与冷却水起到隔离的作用，冷却器的一侧循环真空泵里的纯净水，另一侧循环冷冻机或者是冷却塔里边的水，通过。